低溫制冷循環(huán)器使用范圍：對(duì)半導(dǎo)體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機(jī)、自動(dòng)夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機(jī)、包裝機(jī)、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。對(duì)激光裝置發(fā)熱部分的冷卻：激光加工、熔接機(jī)的發(fā)熱部分、激光標(biāo)志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機(jī)等。

產(chǎn)品概況：

1、導(dǎo)熱液體溫度可調(diào)節(jié)

2、采用阿斯帕拉、丹弗斯、美優(yōu)樂、谷輪等品牌壓縮機(jī)，性能穩(wěn)定，可持續(xù)工作

3、人性化設(shè)計(jì)，靈活更方便

4、微電腦溫度控制器，溫度數(shù)字顯示，調(diào)節(jié)單位0.1度，溫度范圍5度~35度可調(diào)

5、采用熱氣旁通，節(jié)約能源，提高控制精度

6、多種故障報(bào)警（超溫報(bào)警、傳感器報(bào)警、高壓報(bào)警、壓縮機(jī)過熱報(bào)警）

7、開機(jī)延時(shí)保護(hù)

8、所有部件均安全接地

9、高性能循環(huán)泵，可保證每天連續(xù)24小時(shí)運(yùn)行

低溫制冷循環(huán)器技術(shù)參數(shù)